真空熱壓機(jī)是利用真空熱壓燒結(jié)工藝，在真空環(huán)境下，對(duì)置于限定形狀模具中的松散粉末或?qū)Ψ勰号骷訜岬耐瑫r(shí)對(duì)其施加壓力，使材料成型與燒結(jié)同時(shí)完成。真空熱壓燒結(jié)熱壓時(shí)，粉料處于熱塑性狀態(tài)，形變阻力小，所需成型壓力小。由于加熱、加壓同時(shí)進(jìn)行，有助于粉末顆粒的接觸、擴(kuò)散與流動(dòng)傳質(zhì)，能降低燒結(jié)溫度，縮短燒結(jié)時(shí)間，從而抑制晶粒長(zhǎng)大。熱壓燒結(jié)在真空條件下完成，制取的燒結(jié)體孔隙率低、致密化程度高、且晶粒細(xì)小，產(chǎn)品的機(jī)械性能和電學(xué)性能良好。
　　真空熱壓機(jī)熱壓燒結(jié)致密化過程：
　　第一階段：孔隙連通，包括燒結(jié)初期和中期。壓力使顆粒接觸區(qū)發(fā)生塑性屈服；擴(kuò)大的接觸區(qū)出現(xiàn)冪指數(shù)蠕變，引起物質(zhì)遷移；原子與空位發(fā)生體積擴(kuò)散和晶界擴(kuò)散；位錯(cuò)也經(jīng)攀移引起晶界滑動(dòng)。燒結(jié)體密度迅速提升。
　　第二階段：孔洞孤立
　　亦稱燒結(jié)末期。孔洞位于晶界處，且不排除晶內(nèi)微孔。此時(shí)，第一階段的機(jī)制仍舊存在，但蠕變與擴(kuò)散成為燒結(jié)的主要機(jī)制，材料收縮緩慢，產(chǎn)品致密化程度高。
　　真空熱壓機(jī)熱壓燒結(jié)致密化燒結(jié)后期閉氣孔壓力增大，抵消了表面張力的作用，晶界擴(kuò)散作用削弱，而體積擴(kuò)散速度緩慢，致使后期收縮困難。熱壓可提供外在推動(dòng)力來補(bǔ)償被抵消的表面張力，促使燒結(jié)繼續(xù)進(jìn)行。熱壓條件下，固體粉料可能表現(xiàn)出非牛頓型流體性質(zhì)，當(dāng)剪應(yīng)力超過其屈服點(diǎn)時(shí)將出現(xiàn)流動(dòng)，致使傳質(zhì)速度加大，閉氣孔通過物料的粘性或塑性流動(dòng)得以消除。